http://news.imaeil.com/Economy/2018101716041944557

불산누출사고 막을 센서원천기술 개발

 
               김기현 교수                           백창기 교수

지난 2012년 구미에서 발생해 엄청난 피해를 불러온 불산누출 사고를 예방할 수 있는 기술이 개발됐다.

포스텍(포항공대) 창의TI융합공학과 백창기 교수·김기현 교수·박사과정 조현수 씨는 산업 현장에서 불소와 불산 등 유독물질을 감지할 수 있는 원천센서기술을 확보했다고 밝혔다. 이는 센서 분야 저명 학술지인 '센서와 작동기 B:화학' 온라인판에 최근 게재됐다.

불소와 불산은 철강, 화학, 반도체, 디스플레이 등 다양한 산업 전반의 생산 공정에서 핵심 물질로 활용되고 있지만, 치명적인 유독물질이기도 하다. 사고 등으로 누출되더라도 바로 조치하면 확산을 막을 수 있기 때문에 산업계에서는 아주 적은 양의 누출도 바로 감지할 수 있는 민감한 센서를 필요로 하고 있다.

하지만 불소와 불산을 감지하기 위해선 다결정감지막과 산화물반도체 소자가 필요한데, 이와 관련된 원천기술 대부분이 수입되고 있는 데다 제조공정이 복잡하고 생산비용이 비싸 산업현장에 두루 쓰이지 못하고 있다.

이에 연구팀은 실리콘 재료와 반도체 공정 기술을 이용해 불소·불산 센서를 만들었다. 열증착 기법을 통해 다결정 불소·불산 감지막의 화학적·물리적 성질을 개선해 수중에 존재하는 극소량의 불소와 불산을 검출해내는 데 성공했다. 기존 다결정 감지막 기반의 불소센서와 비교했을 때 검출한계가 약 20배 이상 향상된 기술이다.

무엇보다 이 기술은 실리콘과 반도체 공정 기술을 활용했기 때문에 대량 생산이 쉽고, 크기가 작아 초소형 센서 및 모바일 센서로도 개발 가능하다는 강점을 갖고 있다. 아울러 불산 누출에 따른 감지도 5초면 가능해 보다 빠른 후속대응을 가능케 하고 있다.

김기현 교수는 "개발된 센서기술은 작게 만들 수 있는 데다 기존의 불소·불산 센서 대비 약 10% 수준으로 가격 절감이 예상돼 상용화 가능성이 매우 높다" 며"유독물질의 유출을 산업 현장에서 조기 감지하는 기술을 국산화하면서 보다 안전한 산업환경이 구축될 것으로 기대된다"고 했다.

박승혁 기자 psh@msnet.co.kr