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죽음의 가스...불산 감지 초경량 센서 개발

포스텍 백창기 교수 연구팀, 고감도 경량화 불산 검출 센서 개발


포스텍 IT융합공학과·전자전기공학과 백창기 교수. 포스텍 제공

포스텍 연구진이 미량의 불산을 검출할 수 있는 초경량 센서를 개발했다. 불산 누출과 같은 사고 예방에 큰 도움이 될 것으로 기대된다.

19일 포스텍(포항공과대학교, 총장 김무환)은 IT융합공학과·전자전기공학과 백창기 교수와 전자전기공학과 박사과정 곽현탁 씨 연구팀이 매우 적은 양의 불소 화합물도 검출할 수 있는 고감도·초경량 센서를 개발하는 데 성공했다고 밝혔다.

현재 우리나라에서 사용되고 있는 불산 감지 센서는 크기가 매우 크고 제작 기술 대부분을 해외에 의존하고 있어 산업 현장 모두에 설치하기 어렵다는 단점이 있었다.

이에 연구팀은 센서의 부피와 무게를 줄이기 위해 10나노미터(nm) 두께의 실리콘 나노시트를 사용하고, 반응성이 높은 불화 란탄(Lanthanum Fluoride)을 불소 감지막으로 활용했다. 또, 트랜지스터로 불산의 농도를 전기적 신호로 변환시킴으로써 아주 적은 양의 불산도 빠르고 정확하게 감지하는 초경량·고감도 불산 센서를 제작하는 데 성공했다.

기존 센서와 비교하면 가스 형태의 불산을 약 3.3배, 용액 상태의 불산을 약 390배 더 잘 감지했다. 실시간으로 주입되는 불산의 농도를 오차율 5% 이내로 검출하기도 했다.

백창기 교수는 "실리콘 반도체 공정기술을 활용해 기존 상용화학센서 대비 초소형·저비용으로 제작할 수 있다"며, "다양한 유해 화학가스를 검출하는 모바일 시스템을 개발해 우리나라 자체 기술을 적용한 안전 솔루션을 제공하는 것이 목표"라고 말했다.

한편, 이번 연구는 센서 분야에서 세계적으로 영향력이 높은 학술지 '센서와 작동기 B: 화학(Sensors and Actuators B: Chemical)' 온라인판에 최근 게재되었다.

전준혁기자 jjh@yeongnam.com