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포스텍, 유독물질 감지센서 개발

불소·불산 누출 5초 만에 감지 소형화 저비용 상용화 가능성


백창기 교수

포스텍 연구팀이 유독물질인 불소나 불산을 누출 5초 만에 감지할 수 있는 센서를 개발했다.

18일 포스텍에 따르면 창의IT융합공학과 백창기ㆍ김기현 교수, 박사과정 조현수씨가 산업현장에서 극미량 불소나 불산 등 유독물질을 감지할 수 있는 원천 센서기술을 개발했다.

포스텍 연구팀은 이번 연구에서 실리콘 재료를 활용하고 반도체 공정 기술인 열증착 기법을 이용해 불소ㆍ불산 감지 센서를 만드는 데 성공했다.

이 센서는 기존 다결정 감지막을 기반으로 한 센서보다 검출한계가 20배 이상 높은 것으로 알려졌다.

기존의 5％만 있어도 감지할 수 있을 정도로 민감하게 반응한다는 셈이다.

이 기술은 실리콘과 반도체 공정 기술을 활용하기 때문에 대량 생산이 쉽고 크기가 작아 초소형 센서나 모바일 센서로 개발할 수 있다.

김웅희 기자 woong@idaegu.com