포스텍, 유독물질 감지센서 개발

작성자
baekck
작성일
2018-11-08 11:52
조회
898
http://www.idaegu.com/?c=2&uid=397143

포스텍, 유독물질 감지센서 개발

불소·불산 누출 5초 만에 감지 소형화 저비용 상용화 가능성


백창기 교수

포스텍 연구팀이 유독물질인 불소나 불산을 누출 5초 만에 감지할 수 있는 센서를 개발했다.

18일 포스텍에 따르면 창의IT융합공학과 백창기ㆍ김기현 교수, 박사과정 조현수씨가 산업현장에서 극미량 불소나 불산 등 유독물질을 감지할 수 있는 원천 센서기술을 개발했다.

포스텍 연구팀은 이번 연구에서 실리콘 재료를 활용하고 반도체 공정 기술인 열증착 기법을 이용해 불소ㆍ불산 감지 센서를 만드는 데 성공했다.

이 센서는 기존 다결정 감지막을 기반으로 한 센서보다 검출한계가 20배 이상 높은 것으로 알려졌다.

기존의 5%만 있어도 감지할 수 있을 정도로 민감하게 반응한다는 셈이다.

이 기술은 실리콘과 반도체 공정 기술을 활용하기 때문에 대량 생산이 쉽고 크기가 작아 초소형 센서나 모바일 센서로 개발할 수 있다.

김웅희 기자 woong@idaegu.com

 
전체 0

전체 159
번호 제목 작성자 작성일 추천 조회
114
반도체 공정 기반 대량생산 가능 실리콘 나노선 열전소자 기술 개발
baekck | 2019.04.05 | 추천 0 | 조회 835
baekck 2019.04.05 0 835
113
실리콘 열전소자 대량생산 기술 개발
baekck | 2019.04.05 | 추천 0 | 조회 1060
baekck 2019.04.05 0 1060
112
포스텍 연구팀, 고성능 실리콘 열전소자 구현 성공
baekck | 2019.04.05 | 추천 0 | 조회 755
baekck 2019.04.05 0 755
111
포스텍 연구팀, 반도체 공정 기반 실리콘 열전소자 대량생산 기술 개발
baekck | 2019.04.05 | 추천 0 | 조회 648
baekck 2019.04.05 0 648
110
포스텍, 기존 반도체 공정 활용해 열전소자 대량생산 기술 개발
baekck | 2019.04.05 | 추천 0 | 조회 853
baekck 2019.04.05 0 853
109
포스텍 백창기 교수팀, 폐열로 고성능 실리콘 나노선 열전소자 구현
baekck | 2019.04.05 | 추천 0 | 조회 745
baekck 2019.04.05 0 745
108
포스텍, 반도체 공정 기반 실리콘 열전소자 대량생산 기술 개발
baekck | 2019.04.05 | 추천 0 | 조회 1000
baekck 2019.04.05 0 1000
107
포스텍, 유독물질 감지센서 개발
baekck | 2018.11.08 | 추천 0 | 조회 898
baekck 2018.11.08 0 898
106
불산누출사고 막을 센서원천기술 개발
baekck | 2018.11.08 | 추천 0 | 조회 860
baekck 2018.11.08 0 860
105
포스텍 연구팀, 불소·불산 누출 조기 감지 기술개발
baekck | 2018.11.08 | 추천 0 | 조회 786
baekck 2018.11.08 0 786
104
제 2의 구미 불산사고 막는다
baekck | 2018.11.08 | 추천 0 | 조회 898
baekck 2018.11.08 0 898
103
불산 누출 5초만에 감지하는 센서 개발
baekck | 2018.11.08 | 추천 0 | 조회 892
baekck 2018.11.08 0 892
102
포스텍, 극미량 유독물질 감지 열증착 기법 원천센서기술 개발
baekck | 2018.11.08 | 추천 0 | 조회 749
baekck 2018.11.08 0 749
101
불소 등 누출 5초 만에 감지하는 센서 개발
baekck | 2018.11.08 | 추천 0 | 조회 733
baekck 2018.11.08 0 733
100
포스텍 백창기 교수팀, 저가·고성능 신속 정확한 센서 개발 기대
baekck | 2018.11.08 | 추천 0 | 조회 664
baekck 2018.11.08 0 664